7 空氣凈化和空調(diào)通風設(shè)計
7．1 一般規(guī)定
7．1．1 潔凈廠房內(nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。
7．1．2 氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點的不同要求選用。
7．1．3 有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：
1 運行班次或使用時間不同；
2 生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設(shè)備交叉污染，對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響；
3 對溫、濕度控制要求差別大；
4 潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊；
5 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)；
6 系統(tǒng)風量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。
7．1．4 潔凈室(區(qū))內(nèi)的溫度、相對濕度應(yīng)符合本規(guī)范第3．2．3條的規(guī)定。
7．1．5 潔凈室(區(qū))內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
7．1．6 潔凈室(區(qū))與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差，靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 各潔凈室(區(qū))與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定；
2 不同等級的潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa；
3 潔凈室(區(qū))與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa；
4 潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。
7．1．7 潔凈室(區(qū))維持靜壓差值所需的壓差風量，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。
7．1．8 送風、回風和排風系統(tǒng)的啟閉聯(lián)鎖、控制要求，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
7．1．9 非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風，并應(yīng)進行凈化處理。
7．1．10 潔凈室(區(qū))的清掃方式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級等因素確定。潔凈室(區(qū))宜采用移動式高效真空吸塵器。對于空氣潔凈度等級為1～5級的潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)，潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷。
7．2 氣流流型和送風量
7．2．1 氣流流型的設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：
1 氣流流型應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級的要求?？諝鉂崈舳鹊燃墳?～5級時，應(yīng)采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6～9級時，宜采用非單向流；
2 潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和工作人員健康的要求。
7．2．2 潔凈室的送風量，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
7．2．3 潔凈室(區(qū))所需的滿足空氣潔凈度等級的潔凈送風量和氣流流型，宜按表7．2．3計算。
7．3 凈化空調(diào)系統(tǒng)
7．3．1 潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。
凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)，
7．3．2 潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較，采用運行經(jīng)濟、節(jié)約能源的送風方式。
7．3．3 凈化空調(diào)系統(tǒng)新風的室外吸入口位置，應(yīng)遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。
7．3．4 多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時運行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風，應(yīng)集中處理。
7．3．5 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)合理利用回風，但下列情況不得回風：
1 在生產(chǎn)過程中向車間內(nèi)散發(fā)的有害物質(zhì)超過規(guī)定時；
2 采用局部處理不能滿足衛(wèi)生要求時；
3 對其他工序有危害或不能避免交叉污染時。
7．3．6 凈化空調(diào)系統(tǒng)需設(shè)置電加熱時，應(yīng)選用不產(chǎn)塵的電加熱器，且應(yīng)布置在高效過濾器的上風側(cè)，并應(yīng)采取安全保護措施。
7．3．7 凈化空調(diào)系統(tǒng)的電加濕器應(yīng)采取安全保護措施。
7．3．8 根據(jù)氣象條件，存在冷凍可能的地區(qū)，新風系統(tǒng)應(yīng)采取防凍保護措施。
7．4 空氣凈化設(shè)備
7．4．1 空氣過濾器的選用和布置應(yīng)符合下列要求：
1 空氣過濾器應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級選用；
2 空氣過濾器的處理風量應(yīng)小于或等于額定風量；
3 中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段；
4 高效(亞高效)空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；超高效空氣過濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；
5 同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近；
6 同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近；
7 對化學污染物有控制要求的潔凈室(區(qū))，在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應(yīng)根據(jù)環(huán)境條件設(shè)置化學過濾器或其他去除裝置；
8 高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應(yīng)采用不燃或難燃材料制作。
7．4．2 風機過濾器機組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：
1 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用；
2 應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置；
3 終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；
4 送風量應(yīng)能調(diào)節(jié)；
5 應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應(yīng)滿足檢修要求。
7．4．3 層流罩的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：
1 潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩；
2 層流罩的形式和進風方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備需要選用；
3 終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；
4 安裝方式不應(yīng)影響生產(chǎn)操作。
7．4．4 微環(huán)境裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：
1 當生產(chǎn)工藝或設(shè)備對空氣潔凈度等級、外擾或溫度、相對濕度有較高要求，且所控區(qū)域不大時，宜采用微環(huán)境裝置；
2 微環(huán)境裝置宜與生產(chǎn)工藝設(shè)備配套；
3 在不影響工藝操作的前提下，應(yīng)具有可靠的密閉性，內(nèi)外表面應(yīng)平整、光滑；
4 圍擋構(gòu)造、材料的選用應(yīng)方便生產(chǎn)操作。
7．4．5 干表冷器的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：
1 安裝位置、外形尺寸應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定；
2 迎面風速、結(jié)構(gòu)形式應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))冷負荷、風機過濾器機組所提供的機外余壓確定；
3 冷凍水進水溫度，宜高于潔凈室(區(qū))內(nèi)空氣的露點溫度；
4 應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施。
7．4．6 凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機組的選用和布置，應(yīng)符合下列要求：
1 應(yīng)有良好的氣密性，漏風率不得大于1％；
2 整體結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠的強度和剛度，內(nèi)表面應(yīng)平整、光滑，外表面不應(yīng)結(jié)露；
3 布置應(yīng)整齊，并應(yīng)便于運行和維修；當多套空氣處理機組為同一潔凈室(區(qū))服務(wù)時，宜選用相同規(guī)格的空氣處理機組；
4 送風機宜采取變頻調(diào)速措施。送風機可按凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風量和總阻力值進行選擇。計算系統(tǒng)總阻力時，中效(高中效)、高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1．5～2．0倍取值；
5 應(yīng)設(shè)置排水裝置。
7．5 采暖、通風
7．5．1 空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室(區(qū))不應(yīng)采用散熱器采暖。
7．5．2 潔凈廠房內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備和輔助設(shè)備，應(yīng)設(shè)置局部排風裝置，排風罩宜為密閉式。局部排風系統(tǒng)單獨設(shè)置的要求，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
7．5．3 潔凈室(區(qū))的排風系統(tǒng)設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：
1 應(yīng)防止室外氣流倒灌；
2 含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風系統(tǒng)應(yīng)按其物理化學性質(zhì)采取相應(yīng)防火防爆措施；
3 局部排風系統(tǒng)排出的有害氣體，當其有害物質(zhì)濃度超過排放標準時，應(yīng)采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應(yīng)滿足國家現(xiàn)行有關(guān)排放標準的規(guī)定；
4 對含有水蒸氣或凝結(jié)物質(zhì)的排風系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置坡度及排放口；
5 排風介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時，應(yīng)設(shè)置備用排風機和處理設(shè)備，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；
6 排風介質(zhì)中含易燃、易爆等危險物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時，應(yīng)設(shè)置備用排風機，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；
7 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng)，其風量應(yīng)按在正常運行和事故情況下，風管內(nèi)爆炸危險氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20％計；
8 排除有爆炸危險氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置消除靜電的接地裝置。
7．5．4 對排風系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險性物質(zhì)的排氣管路，應(yīng)保持相對于路由區(qū)域一定的負壓值。
7．5．5 凈鞋室、更外衣室、盥洗室和廁所等生產(chǎn)輔助房間，應(yīng)采取通風措施。
7．5．6 潔凈室(區(qū))事故排風系統(tǒng)的設(shè)計，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 事故排風區(qū)域的換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次／h；
2 應(yīng)設(shè)置自動和手動控制開關(guān)，手動控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)置在潔凈室(區(qū))和潔凈室(區(qū))外便于操作的地點；
3 應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。
7．6 排 煙
7．6．1 潔凈廠房中的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機械排煙設(shè)施。
7．6．2 潔凈廠房排煙設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。當同一防火分區(qū)的丙類潔凈室(區(qū))人員密度小于0.02人／m2，且安全疏散距離小于80m時，潔凈室(區(qū))可不設(shè)機械排煙設(shè)施。
7．6．3 機械排煙系統(tǒng)宜與通風、凈化空調(diào)系統(tǒng)分開設(shè)置；當合用時，應(yīng)采取防火安全措施，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。
7．6．4 機械排煙系統(tǒng)的風量、排煙口位置、風機的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。
7．7 風管、附件
7．7．1 凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風吸入管應(yīng)設(shè)置防倒灌裝置；送、回風管宜設(shè)置調(diào)節(jié)閥。
7．7．2 凈化空調(diào)系統(tǒng)風管的防火閥的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
含有可燃、有毒氣體或化學品的排風管道，不得設(shè)置熔片式防火閥。
7．7．3 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風管、配件、過濾器以及密封材料等，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈度要求確定，并不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。
7．7．4 潔凈室(區(qū))內(nèi)排風系統(tǒng)的風管、閥門、附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)排除氣體的物理化學性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定，并不得與所輸送介質(zhì)發(fā)生化學反應(yīng)或引起安全事故的發(fā)生。
7．7．5 凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風總管上，應(yīng)采取消聲措施，并應(yīng)滿足潔凈室(區(qū))內(nèi)噪聲控制的要求。潔凈室(區(qū))排風系統(tǒng)，應(yīng)采取消聲措施，并應(yīng)滿足室內(nèi)外噪聲標準的要求。
7．7．6 在集中設(shè)置的空氣過濾器的前后，應(yīng)設(shè)置測壓孔或指針式壓差計。在新風管、送風、回風總管段上，應(yīng)設(shè)置風量測定孔。
7．7．7 風管附件及輔助材料的防火性能，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風系統(tǒng)的風管應(yīng)采用不燃材料制作，但接觸腐蝕性介質(zhì)的風管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作；
2 排煙系統(tǒng)的風管應(yīng)采用不燃材料制作；
3 附件、保溫材料和消聲材料等均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。
