11 化學品供應
11．1 一般規(guī)定

11．1．1 電子工業(yè)潔凈廠房常常需使用各種化學品，根據(jù)電子產(chǎn)品品種及其生產(chǎn)工藝的不同，各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)所使用的化學品是不相同的，其中以集成電路芯片制造過程、TFT—LCD生產(chǎn)過程所需的化學品品種多，有的純度要求嚴格，表25是這兩種電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房內(nèi)所用的主要化學品種類。表26是有關(guān)資料提出的集成電路芯片64M生產(chǎn)過程部分化學品的質(zhì)量要求。

11．1．2 電子工業(yè)潔凈廠房所用化學品如表25所列品種較多，它們的分類、儲存應符合現(xiàn)行國家標準《常用危險化學品的分類及標志》GB 13690、《常用危險化學品貯存通則》GB 15603等的相關(guān)規(guī)定。危險化學品按主要危險特性分為8類，即第1類爆炸品，第2類壓縮氣體和液化氣體，第3類易燃液體，第4類易燃固體、自燃物品和遇濕易燃物品，第5類氧化劑和有機氧化物，第6類有毒品，第7類放射性物品，第8類腐蝕品。
由于各類化學品的性質(zhì)不同，因此常用化學危險品應分區(qū)、分類、分庫儲存，并不得與禁忌物料混合儲存。儲存化學危險品的建筑物不得有地下室或其他地下建筑，其耐火等級、層數(shù)、占地面積、安全疏散和防火間距，應符合國家有關(guān)規(guī)定。

11．2 化學品儲存、輸送

11．2．1 制定本條的依據(jù)和參考材料如下：
1 現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016—2006第3．3．9條的規(guī)定。
2 現(xiàn)行國家標準《石油化工企業(yè)設(shè)計防火規(guī)范》GB 50160—92(1999年版)第5．9．1條。
3 美國消防協(xié)會發(fā)布的NFPA 318《潔凈室消防標準》的有關(guān)規(guī)定。第5．1．1條，危險化學品的儲存和分配間應以耐火極限為1.0h的構(gòu)造物與潔凈室分隔。第5．1．3條，潔凈室中應把危險化學品控制在使用和維護需要的限值。第5．1．4條，危險化學品的儲存和分配間應設(shè)有下列機械排風裝置：(1)機械排風最低流量為1m3／s·m2地板面積；(2)排風和入口處的開口應防止氣體的積聚；(3)機械排風系統(tǒng)應與自動應急電源相連。

11．2．2 制定本條的依據(jù)和參考資料如下：
1 美國消防協(xié)會發(fā)布的NFPA 318《潔凈室消防標準》的有關(guān)規(guī)定。第5．3. 2條，危險化學品不應在出入口走廊內(nèi)分配和存放。第5．3．3條，運輸和裝載危險化學品的小車應為完全封閉型。用于運輸化學品的小車的容量不應超過208L，最大單個容器的容量為19L。第5．3．4條，不相容的危險化學品，不得用同一裝載危險化學品的小車同時運輸。
2 據(jù)了解，目前國內(nèi)一些使用危險化學品的電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)，為確保桶裝危險化學品運輸過程的安全，均采用液壓升降裝置，在運輸危險化學品的通道或走廊，均設(shè)有自動滅火裝置，一旦發(fā)生火情，及時進行救援。對于運送有機溶劑部位，應采用二氧化碳滅火系統(tǒng)或泡沫滅火系統(tǒng)，其余采用自動噴水滅火系統(tǒng)。

11．2．3 本條規(guī)定是根據(jù)國內(nèi)一些電子工業(yè)潔凈廠房使用危險化學品的儲存、輸送系統(tǒng)的調(diào)查分析資料和參考NFPA 318《潔凈室消防標準》的相關(guān)條文制定的。
1 電子工業(yè)潔凈廠房中的危險化學品采用管道輸送時，一般采用氣泵增壓輸送，增壓氣體采用氮氣。
2 在危險化學品的管道輸送系統(tǒng)的壓力儲罐后的分配和使用設(shè)備處均應設(shè)手動切斷閥，以便及時進行切斷操作。
3 NFPA 318《潔凈室消防標準》第5．2節(jié)中的相關(guān)規(guī)定：“采用加壓系統(tǒng)時，系統(tǒng)中所用各種材料都應與所輸送的化學品物化性能具有相容性”，“壓力罐設(shè)有自動減壓通風口，若火災時，可排氣至安全的位置”，“使用點設(shè)手動切斷閥”、“加壓只能用惰性氣體”等。

11．2．5 制定本條規(guī)定的主要依據(jù)如下：
1 根據(jù)對一些電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)設(shè)有危險化學品儲存、分配間的調(diào)查表明，儲存化學品的儲罐一般設(shè)置在底層半地下間，位于化學品供應系統(tǒng)的最低處，在各類液體儲罐之間設(shè)有隔堤或保護堤。保護堤是用于儲罐泄漏或檢修用圍堰，防止液體化學品外溢；隔堤是用于甲、乙類液體或液體相互接觸能引起化學反應的儲罐之間的分隔。隔堤、防護堤的高度約500mm。危險化學品儲存、分配間一般均設(shè)有液體泄漏報警裝置、緊急洗眼器、淋浴器。
2 在現(xiàn)行國家標準《石油化工企業(yè)設(shè)計防火規(guī)范》GB 50160中，對于甲、乙類液體設(shè)置防火堤、隔堤制定了有關(guān)規(guī)定。
3 NFPA 318《潔凈室消防標準》第5．1．2條規(guī)定：潔凈廠房內(nèi)的危險化學品儲存和分配間應設(shè)二次抑制化學品溢出的設(shè)施。

11．3 管材、閥門

11．3．1 電子工業(yè)潔凈廠房所需化學品的品質(zhì)較多，包括具有可燃性、氧化性、腐蝕性的各種酸堿、有機溶劑等，為確?；瘜W品的輸送質(zhì)量、安全運行和使用壽命，輸送化學品的管道材質(zhì)應根據(jù)管內(nèi)流過化學品的物理化學性質(zhì)進行選擇，如酸堿類輸送管道材質(zhì)，通常采用聚四氟乙烯管，并以透明PVC管做保護套管，避免輸送管道被腐蝕和預防酸堿液泄漏時造成人身(設(shè)備)受傷(受損)。為防止各類化學品，特別是一些高純化學品在輸送過程中被污染或因管道材質(zhì)選用不當，引發(fā)不應發(fā)生的化學反應，影響化學品質(zhì)量，所以輸送化學品管道的材質(zhì)應選用化學穩(wěn)定性良好和相容性好的材料，如：輸送有機溶劑類化學品管道材質(zhì)，通常采用管內(nèi)壁拋光的低碳不銹鋼管(SUS316L EP／BA)等。本條為強制性條文。

11．3．2 據(jù)調(diào)查了解，在電子工業(yè)潔凈廠房中，為防止有腐蝕性的酸堿類管道泄漏，殃及操作人員或生產(chǎn)設(shè)備，各類腐蝕性的酸堿類管道均采用帶套管的聚四氟乙烯管(PFA管)，外套管為透明的PVC管等。
在美國消防協(xié)會頒布的NFPA 318《潔凈室消防標準》中，有一條例外的說明：“易燃液體的加壓輸送系統(tǒng)容許用非金屬管道輸送，但必須設(shè)置于熔點高于1093℃(2000°F)的金屬制造的外殼中”。
鑒于上述情況，作了本條規(guī)定。

11．3．3 對一些使用多種化學品的管道供應系統(tǒng)的國內(nèi)電子工業(yè)潔凈廠房的調(diào)查和相關(guān)的技術(shù)資料介紹表明，為確?；瘜W品供應輸送系統(tǒng)的安全和有利于連接多臺生產(chǎn)設(shè)備共用一條管路系統(tǒng)，一般在液體化學品供應系統(tǒng)中設(shè)有化學品供應分配閥箱(Valve Manifold Box，簡稱VMB，如圖9所示)。故作本規(guī)定。