6．1．1 潔凈的生產(chǎn)環(huán)境是生產(chǎn)工藝的需要，是確保產(chǎn)品的成品率和產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性、長壽命所必需的。隨著我國國民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，各行各業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的溫度、相對濕度和潔凈度的要求也越來越高。例如：大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展很快，在1980年時(shí)其集成度只有64kB，而到目前集成度已提高到1GB；64kB集成電路前工序生產(chǎn)所要求生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級只有4級和5級，而1GB集成電路前工序生產(chǎn)對生產(chǎn)環(huán)境潔凈度等級的要求提高到1級和2級(0.1μm)。
不同的生產(chǎn)工藝、不同的生產(chǎn)工序?qū)ιa(chǎn)環(huán)境的要求也是不相同的，因此，確定潔凈室的空氣潔凈度等級時(shí)應(yīng)根據(jù)不同工藝、不同工序?qū)Νh(huán)境的潔凈度要求而定。
根據(jù)不同生產(chǎn)工藝、不同生產(chǎn)工序?qū)Νh(huán)境潔凈度的不同要求，該高則高，該低則低，盡量縮小高潔凈度等級部分的面積，以局部 高等級凈化和全室較低等級凈化的潔凈室系統(tǒng)代替全室高等級凈化的潔凈室系統(tǒng)。既能確保不同生產(chǎn)工藝對環(huán)境的要求，又能大幅度地降低初投資和運(yùn)行費(fèi)用。
例如：對于生產(chǎn)1GB超大規(guī)模集成電路前工序的潔凈室來說，在整個(gè)生產(chǎn)過程中只有少數(shù)工序（制版、光刻等）對環(huán)境的潔凈度等級要求最高為1級或2級，而其他大部分工序只要求5級、6級，甚至只有7級。不需將全部潔凈室都設(shè)計(jì)為1級或2級。
6．1．4 人是潔凈室內(nèi)主要的發(fā)塵源，作業(yè)人員進(jìn)入潔凈室必須穿著與潔凈室的空氣潔凈度等級相適應(yīng)的潔凈工作服。由于潔凈工作服的透氣性較差，為了保證作業(yè)人員的工作環(huán)境，提高勞動生產(chǎn)率，在潔凈室生產(chǎn)工藝對環(huán)境的溫、濕度沒有特殊要求時(shí)，潔凈室內(nèi)的溫度主要是為了作業(yè)人員的舒適。因此，潔凈室溫度冬季為20℃～22℃，夏季為24℃～26℃，濕度冬季為30％～50％，夏季為50％～70％，比較適宜。由于潔凈室（區(qū)）的溫度、相對濕度首先應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定，只有在生產(chǎn)工藝無要求時(shí)，才能按本條的規(guī)定根據(jù)作業(yè)人員的舒適度確定，但在本規(guī)范實(shí)施中因潔凈廠房生產(chǎn)的產(chǎn)品多種多樣，作業(yè)人員多少和工作條件也不相同，所以強(qiáng)制執(zhí)行有困難，為此本次修訂改為推薦性條文。
6．1．5 本條為強(qiáng)制性條文?，F(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50019中對一般工業(yè)廠房的新鮮空氣量的規(guī)定為每人每小時(shí)不小于30m3。由于新鮮空氣量是確保潔凈室（區(qū)）作業(yè)人員健康的重要條件之一，所以本次修訂中對潔凈室（區(qū)）的新鮮空氣量規(guī)定為應(yīng)取補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和，保證供給潔凈室（區(qū)）內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。兩項(xiàng)中的最大值。
6．2 潔凈室壓差控制
6．2．1 為了保證潔凈室在正常工作或空氣平衡暫時(shí)受到破壞時(shí)，氣流都能從空氣潔凈度高的區(qū)域流向空氣潔凈度低的區(qū)域，使?jié)崈羰业臐崈舳炔粫艿轿廴究諝獾母蓴_，所以潔凈室必須保持一定的壓差。
在國內(nèi)外潔凈室標(biāo)準(zhǔn)和潔凈度等級中，對潔凈室內(nèi)壓差值的大小都作了明確規(guī)定。
壓差值的大小應(yīng)選擇適當(dāng)。壓差值選擇過小，潔凈室的壓差很容易破壞，潔凈室的潔凈度就會受到影響。壓差值選擇過大，就會使凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)量增大，空調(diào)負(fù)荷增加，同時(shí)使中效、高效過濾器使用壽命縮短，故很不經(jīng)濟(jì)。另外，當(dāng)室內(nèi)壓差值高于50Pa時(shí)，門的開關(guān)就會受到影響。因此，潔凈室壓差值的大小應(yīng)根據(jù)我國現(xiàn)有潔凈室的建設(shè)經(jīng)驗(yàn)，參照國內(nèi)外有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和試驗(yàn)研究的結(jié)果合理確定。
自《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GBJ 73-84在1985年頒布以來，我國按規(guī)范設(shè)計(jì)、建造了數(shù)百萬平方米的各種潔凈級別的潔凈室，并且都經(jīng)過了數(shù)年的運(yùn)行考驗(yàn)，滿足了工藝要求。實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)證明，《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GBJ 73-84中有關(guān)潔凈室內(nèi)正壓值的選擇是正確的、可行的。
已頒布實(shí)施的國際標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第一部分，空氣潔凈度的分級》IS0 14644-1和日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室懸浮粒子檢測方法》JIS 9920、俄羅斯國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》TOCTP 50766等有關(guān)現(xiàn)行的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)中都明確規(guī)定，為了保持潔凈室的潔凈度等級免受外界的干擾，對于不同等級的潔凈室之間、潔凈室與相鄰的無潔凈度級別的房間之間都必須維持一定的壓差。雖然各個(gè)國家規(guī)定的最小壓差值不盡相同，但最小壓差值都在5Pa以上。
由于潔凈室（區(qū)）與周圍空間維持一定的壓差是實(shí)現(xiàn)空氣潔凈度的基本條件，為此，規(guī)定本條為強(qiáng)制性條文。
6．2．2 試驗(yàn)研究的結(jié)果表明，潔凈室內(nèi)正壓值受室外風(fēng)速的影響，室內(nèi)正壓值要高于室外風(fēng)速產(chǎn)生的風(fēng)壓力。當(dāng)室外風(fēng)速大于3m/s時(shí)，產(chǎn)生的風(fēng)壓力接近5Pa，若潔凈室內(nèi)正壓值為5Pa時(shí)，室外的污染空氣就有可能滲漏到室內(nèi)。但根據(jù)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)和空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50019編制組提供的全國氣象資料統(tǒng)計(jì)，全國203個(gè)城市中有74個(gè)城市的冬夏平均風(fēng)速大于3m/s，占總數(shù)的36.4％。這樣如果潔凈室與室外相鄰時(shí)，其最小的正壓值應(yīng)該大于5Pa。因此，規(guī)定潔凈室與室外的最小壓差為10Pa。由于各行各業(yè)的潔凈廠房內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝不同，各產(chǎn)品生產(chǎn)工序的條件差異，不同等級或潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的壓差取值均有差別，所以本次修訂將本條改為推薦性條文。
6．2．3 國內(nèi)外潔凈室壓差風(fēng)量的確定，多數(shù)是采用房間換氣次數(shù)估算的。因?yàn)閴翰铒L(fēng)量的大小是與潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)的氣密性及維持的壓差值大小有關(guān)，對于相同大小的房間，由于門窗的數(shù)量及形式的不同，氣密性不同，導(dǎo)致滲漏風(fēng)量也不同，故維持同樣大小的壓差值所需壓差風(fēng)量就有所差異。兇此，在選取換氣次數(shù)時(shí)，對于氣密性差的房間取上限，氣密性較好的房間可取得小一些。
(1) 采用縫隙法來計(jì)算滲漏風(fēng)量，既考慮了潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)的氣密性，又考慮了室內(nèi)維持不同的壓差值所需的正壓風(fēng)量。因此，縫隙法比按房間的換氣次數(shù)估算法較為合理和精確。
單位長度縫隙滲漏空氣量用公式計(jì)算是比較困難的，一般是通過不同形式的門、窗進(jìn)行多次試驗(yàn)的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)后得出的。表7是對國內(nèi)潔凈室的20多種常用的門、窗在實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行了大量的試驗(yàn)后取得的數(shù)據(jù)，雖然近年來潔凈室門窗的材料和形式有很大的發(fā)展，但目前還有部分潔凈室仍然采用鋼制密封門窗，故表7中的數(shù)據(jù)仍可供設(shè)計(jì)時(shí)參考。
表7 圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量
|
門窗形式
漏風(fēng)量(m3/h·m)
壓差(Pa)
|
非密
閉門
|
密閉門
|
單層固定密閉鋼窗
|
單層
開啟式
密閉鋼窗
|
傳遞窗
|
壁板
|
|
5
|
17
|
4
|
0.7
|
3.5
|
2.0
|
0.3
|
|
10
|
24
|
6
|
1.0
|
4.5
|
3.0
|
0.6
|
|
15
|
30
|
8
|
1.3
|
6.0
|
4.0
|
0.8
|
|
20
|
36
|
9
|
1.5
|
7.0
|
5.0
|
1.0
|
|
25
|
40
|
10
|
1.7
|
8.0
|
5.5
|
1.2
|
|
30
|
44
|
11
|
1.9
|
8.5
|
6.0
|
1.4
|
|
35
|
48
|
12
|
2.1
|
9.0
|
7.0
|
1.5
|
|
40
|
52
|
13
|
2.3
|
10.0
|
7.5
|
1.7
|
|
45
|
55
|
15
|
2.5
|
10.5
|
8.0
|
1.9
|
|
50
|
60
|
16
|
2.6
|
11.5
|
9.0
|
2.0
|
縫隙法宜按下式計(jì)算：
Q＝a·∑(q·L)
式中：Q——維持潔凈室壓差值所需的壓差風(fēng)量(m3/h)；
a——根據(jù)圍護(hù)結(jié)構(gòu)氣密性確定的安全系數(shù)，可取1.1～1.2；
q——當(dāng)潔凈室為某一壓差值時(shí)，其圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量(m3/h·m)；
L——圍護(hù)結(jié)構(gòu)的縫隙長度(m)。
(2) 換氣次數(shù)法，宜按下列數(shù)據(jù)選用：
壓差5Pa時(shí)，取1次/h～2次/h。
壓差10Pa時(shí)，取2次/h～4次/h。
6．2．4 潔凈室（區(qū)）的正壓或負(fù)壓是以對室內(nèi)的送風(fēng)量、回風(fēng)量和排風(fēng)量平衡協(xié)調(diào)實(shí)現(xiàn)的，為確保潔凈室所需的正壓值或負(fù)壓值，通常還應(yīng)將送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)順序啟停，為此作了本條規(guī)定。但實(shí)踐證明，由于各行各業(yè)的潔凈室（區(qū)）的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝或使用要求不同，有些潔凈室是間斷、不連續(xù)運(yùn)行，所以送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟停雖然大多采用聯(lián)鎖控制，而有的也采用手動控制，為此本次修改將本條改為推薦性條文。
6．2．5 根據(jù)對國內(nèi)潔凈室的調(diào)查表明，有一部分潔凈室設(shè)置了值班風(fēng)機(jī)，但多數(shù)潔凈室沒有設(shè)置值班風(fēng)機(jī)，而是采用上班前提前半小時(shí)運(yùn)行凈化空調(diào)系統(tǒng)達(dá)到潔凈室自凈的方法。
非連續(xù)性運(yùn)行的潔凈室設(shè)置值班送風(fēng)的問題，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝具體情況而定。如果生產(chǎn)工藝要求嚴(yán)格，在空氣凈化調(diào)節(jié)系統(tǒng)停止運(yùn)行時(shí)，會污染室內(nèi)放置的半成品，又不能采用局部處理時(shí)最好設(shè)置值班送風(fēng)，值班送風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)送出經(jīng)過凈化空調(diào)處理的空氣，以避免潔凈室內(nèi)產(chǎn)品或設(shè)備結(jié)露。
6．3 氣流流型和送風(fēng)量
6．3．1 潔凈室的氣流流型應(yīng)考慮避免或減少渦流。這樣可以減少二次氣流，有利于迅速有效地排除粒子。
對于空氣潔凈度要求不同的潔凈室（區(qū)），所采用的氣流流型亦應(yīng)不同。近年在電子工廠潔凈廠房或醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房內(nèi)，為減少建設(shè)工程造價(jià)、降低能量消耗，常常采用同時(shí)具有單向流和非單向流的混合流潔凈室，即使在微電子生產(chǎn)潔凈廠房中要求1級～3級的空氣潔凈度等級的生產(chǎn)環(huán)境也采用混合流潔凈室，即在潔凈廠房的潔凈生產(chǎn)區(qū)采用5級，僅在局部或微環(huán)境內(nèi)采用1級～3級。根據(jù)上述情況，本條進(jìn)行了新的規(guī)定，并修改為推薦性條文。
6．3．2 潔凈室（區(qū)）的送風(fēng)量是確保其正常運(yùn)行的基本條件，本條規(guī)定的潔凈室（區(qū)）送風(fēng)量應(yīng)取三項(xiàng)中最大值是多年來國內(nèi)外的經(jīng)驗(yàn)總結(jié)，如果不是“最大值”，則將使建造后的潔凈室達(dá)不到所要求的潔凈度等級或環(huán)境條件達(dá)不到要求或作業(yè)人員健康得不到保障，為此，本條規(guī)定為強(qiáng)制性條文。
6．3．3 潔凈室送風(fēng)量計(jì)算所用的數(shù)據(jù)是參照國際標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第四部分，設(shè)計(jì)、施工和啟動》ISO 14644-4-2001中表B．2而編制的。其中，換氣次數(shù)系根據(jù)我國實(shí)際情況確定的。
(1) 表6．3．3空氣潔凈度等級系指靜態(tài)而言。其編制理由如下：
1) 工程施工前的空氣潔凈度測試，一般都是在空態(tài)或靜態(tài)下進(jìn)行的；
2) 國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)中大多已明確規(guī)定按靜態(tài)進(jìn)行空氣潔凈度測試。如果設(shè)計(jì)時(shí)業(yè)主提出須按動態(tài)進(jìn)行驗(yàn)收時(shí)，則另行處理。
(2) 參照已經(jīng)發(fā)布的國際標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第四部分，設(shè)計(jì)、施工和啟動》ISO 14644-4中對微電子潔凈室、醫(yī)藥工業(yè)潔凈室的送風(fēng)量的規(guī)定，以及在本規(guī)范修訂過程中對國內(nèi)已投入運(yùn)行的各類潔凈廠房實(shí)際運(yùn)行狀況的調(diào)查研究，經(jīng)分析表明，《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第四部分，設(shè)計(jì)、施工和啟動》ISO 14644-4-2001中表B．2對不同等級的潔凈室送風(fēng)量、平均風(fēng)速的相關(guān)數(shù)據(jù)基本合理，編寫組結(jié)合國內(nèi)的實(shí)際狀況作了必要的調(diào)整，現(xiàn)將表B．2摘錄于表8。
表8 微電子潔凈室實(shí)例
|
潔凈度等級
ISO等級
|
氣流流型
|
平均風(fēng)速
(m/s)
|
單位面積送風(fēng)量
(m3/m2·h)
|
應(yīng)用實(shí)例
|
|
2
|
U
|
0.3～0.5
|
－
|
光刻、半導(dǎo)體加工區(qū)
|
|
3
|
U
|
0.3～0.5
|
－
|
工作區(qū)，半導(dǎo)體加工區(qū)
|
|
4
|
U
|
0.3～0.5
|
－
|
工作區(qū)，多層掩膜加工、光盤制造、半導(dǎo)體服
務(wù)區(qū)、動力區(qū)
|
|
5
|
U
|
0.2～0.5
|
－
|
|
6
|
N或M
|
－
|
70～160
|
動力區(qū)、多層掩膜加
工、半導(dǎo)體服務(wù)區(qū)
|
|
7
|
N或M
|
－
|
30～70
|
服務(wù)區(qū)、表面處理
|
|
8
|
N或M
|
－
|
10～20
|
服務(wù)區(qū)
|
注：1 制定最佳設(shè)計(jì)條件之前，首先應(yīng)明確使用環(huán)境的ISO級別有關(guān)的占用狀態(tài)；
2 氣流流型符號的意義：U為單向流流型；N為非單向流流型，M為混合流流型（單向流和非單向流的組合流型）；
3 平均風(fēng)速通常適用于單向流流型。單向流平均流速大小與被控制空間的形狀和熱氣流溫度有關(guān)。單向流流速不是指過濾器面風(fēng)速；
4 單位面積送風(fēng)量適用于非單向流流型和混合流流型。單位面積送風(fēng)量的推薦值適用于層高為3.0m的潔凈室；
5 在潔凈室設(shè)計(jì)中須考慮密封措施；
6 對于污染源以及污染區(qū)可用隔板或空氣幕予以有效分隔。
由于本條規(guī)定的潔凈送風(fēng)量主要是依據(jù)目前國內(nèi)外的實(shí)際狀況的經(jīng)驗(yàn)總結(jié)，各類工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝的差異和不斷進(jìn)步，使其潔凈室的送風(fēng)量有所差異，所以本次修訂將本條改為推薦性條文。
6．4 空氣凈化處理
6．4．1 近年來，我國各類潔凈廠房中所采用的空氣過濾器品種、布置和安裝方式均發(fā)生了較大變化，特別是一些外資、合資企業(yè)和空氣潔凈度等級要求十分嚴(yán)格的潔凈廠房變化尤為明顯。為了有利于本規(guī)范的實(shí)施，本次修訂將本條第1～4款改為推薦性條文。
6．4．3 在工藝生產(chǎn)過程不產(chǎn)生有害物時(shí)，凈化空調(diào)系統(tǒng)在保證新鮮空氣量和保持潔凈室壓差的條件下，為了節(jié)約能源，應(yīng)盡量利用回風(fēng)。而單向流潔凈室的換氣次數(shù)大，當(dāng)機(jī)房距單向流潔凈室較遠(yuǎn)時(shí)，可以使一部分空氣不回機(jī)房而直接循環(huán)使用。近年來，一些高潔凈等級的單向流潔凈室采用新風(fēng)集中處理＋FFU凈化空調(diào)系統(tǒng)，它是由多臺風(fēng)機(jī)過濾器單元設(shè)備組成實(shí)現(xiàn)潔凈室回風(fēng)的直接循環(huán)，如圖2所示。
圖2 風(fēng)機(jī)過濾器單元送風(fēng)方式(FFU)示意圖
當(dāng)生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)，局部排風(fēng)又不能滿足衛(wèi)生要求，并對其他工序有影響時(shí)，才能采用直流式凈化空調(diào)系統(tǒng)。因?yàn)楫?dāng)車間內(nèi)的有害物質(zhì)不能全部排除時(shí)，如再使其循環(huán)使用，則會造成車間內(nèi)的有害物濃度越來越大，對人員健康及生產(chǎn)有影響，故應(yīng)采用直流式凈化空調(diào)系統(tǒng)。
6．4．4 在凈化空調(diào)系統(tǒng)中，考慮到系統(tǒng)的阻力變化影響其風(fēng)量等因素，風(fēng)機(jī)采用變頻調(diào)速裝置作恒定風(fēng)量或定壓控制，通常由高效過濾器的壓差變化控制變頻裝置。一些單位的實(shí)踐說明．使用后有明顯節(jié)能效果。
6．4．5 由于原規(guī)范本條部分內(nèi)容與第9．4．3條重復(fù)，本次修訂中將有關(guān)電加熱器等內(nèi)容移至第9．4節(jié)。
本條規(guī)定所指的寒冷地區(qū)是處于建筑氣候區(qū)劃一級區(qū)中I區(qū)（1月平均氣溫小于或等于－10℃）和Ⅱ區(qū)(1月平均氣溫－10℃～0℃)的地區(qū)，在此類地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)采用防凍措施，是為了防止新風(fēng)機(jī)組表冷器凍裂。
6．5 采暖通風(fēng)、防排煙
6．5．1 對國內(nèi)現(xiàn)有潔凈室的調(diào)研看到，為防止散熱器引發(fā)的污染，除少數(shù)改建工程仍采用原有散熱器作潔凈室采暖外，新建潔凈室沒有采用散熱器采暖的，考慮到技術(shù)的發(fā)展，本條規(guī)定了包括8級和8級以上潔凈室不應(yīng)采用散熱器采暖，為此本條作為強(qiáng)制性條文。
6．5．3 對于局部排風(fēng)系統(tǒng)單獨(dú)分開設(shè)置的規(guī)定是為了防止排風(fēng)系統(tǒng)中的易燃、易爆、有毒、腐蝕性介質(zhì)的相互滲混、交叉污染，誘發(fā)各種安全事故，并參照現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50019的規(guī)定制定，本條為強(qiáng)制性條文。
6．5．4 國內(nèi)大部分潔凈室的排風(fēng)裝置都設(shè)置了防倒灌措施，防止凈化空調(diào)系統(tǒng)停止運(yùn)行時(shí)，室外空氣倒流入潔凈室，引起污染或積塵。工程中常采取的防倒灌措施：一是采用中效過濾器，其結(jié)構(gòu)比較簡單，維護(hù)管理方便；二是采用止回閥，其使用方便，無須經(jīng)常維修管理，但密封性較差；三是采用密閉閥，其密封性好，但結(jié)構(gòu)復(fù)雜，要人工經(jīng)常操作管理；四是采用自動控制裝置。本條涉及潔凈廠房內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的安全、穩(wěn)定運(yùn)行，所以規(guī)定為強(qiáng)制性條文。
6．5．5 廁所、換鞋、存外衣、盥洗和淋浴等輔助房間是產(chǎn)生灰塵、臭氣和水蒸氣的地方，緊靠潔凈區(qū)，若處理不當(dāng)，將會使這些有害物滲入潔凈室，污染潔凈室。本條是確保潔凈室（區(qū)）不被這些輔助房間污染的規(guī)定，鑒于具體做法也沒有量化的靜壓值規(guī)定，本次修改為推薦性條文。通風(fēng)措施的做法一般宜采用下述方式：
(1) 送入經(jīng)過中效過濾器過濾后的潔凈空氣；
(2) 送入潔凈室多余的回風(fēng)或正壓排風(fēng)；
(3) 在廁所或浴室內(nèi)采用機(jī)械排風(fēng)。
6．5．6 鑒于事故排風(fēng)是保證生產(chǎn)安全和員工安全的一項(xiàng)必要措施，所以按照現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50019的規(guī)定應(yīng)設(shè)計(jì)事故排風(fēng)裝置。本條是確保潔凈廠房安全運(yùn)行的重要條件之一，所以規(guī)定為強(qiáng)制性條文。
6．5．7 從近年來國內(nèi)建造的潔凈廠房的調(diào)研資料可以看出，一部分潔凈廠房為確保人員疏散的安全性，在疏散走廊設(shè)置了機(jī)械排煙或加壓送風(fēng)系統(tǒng)，如三星視界有限公司，深圳大學(xué)實(shí)驗(yàn)樓，賽格日立等。潔凈廠房的疏散走廊及其長度，依據(jù)具體工程項(xiàng)目的不同位置，差異較大，難于統(tǒng)一。本規(guī)范實(shí)施以來的潔凈廠房設(shè)計(jì)建造均在疏散走道設(shè)置了機(jī)械排煙系統(tǒng)，為此，本條第1款規(guī)定在疏散走廊應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙系統(tǒng)，并作為強(qiáng)制性條款。
本條第2款規(guī)定了各類產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定設(shè)置排煙設(shè)施，這是由于各行業(yè)潔凈廠房內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、使用要求和布置均不相同，在本規(guī)范中很難作出統(tǒng)一的“排煙設(shè)施的規(guī)定”，所以本款為推薦性條款。
6．6 風(fēng)管和附件
6．6．1 新風(fēng)管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)新風(fēng)比；電動密閉閥用于空調(diào)機(jī)停止運(yùn)行時(shí)關(guān)閉新風(fēng)?；仫L(fēng)總管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)回風(fēng)比。送風(fēng)支管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)潔凈室的送風(fēng)量?；仫L(fēng)支管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)潔凈室內(nèi)的正壓值?？照{(diào)機(jī)出風(fēng)口處的密閉調(diào)節(jié)閥用于并聯(lián)空調(diào)機(jī)停運(yùn)時(shí)的關(guān)閉切斷，也可用于單臺空調(diào)機(jī)的總送風(fēng)量調(diào)節(jié)。排風(fēng)系統(tǒng)吸風(fēng)管段上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)局部排風(fēng)量，排風(fēng)管段上的止回閥或電動密閉閥等用于防止室外空氣倒灌。
6．6．2 參照現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)條文，并結(jié)合潔凈室情況作出的本條規(guī)定。風(fēng)管穿過變形縫有三種情況：一是變形縫兩側(cè)有防火隔墻，二是變形縫一側(cè)有防火隔墻，三是變形縫兩側(cè)沒有防火隔墻。規(guī)范條文是按第一種情況兩側(cè)設(shè)置防火閥。通風(fēng)系統(tǒng)的防火閥是在一旦出現(xiàn)火情時(shí)，防止火勢蔓延的主要手段，為此本條為強(qiáng)制性條文。
6．6．3 從不影響空氣凈化效果及經(jīng)濟(jì)兩個(gè)方面考慮，凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管與附件的制作材料是隨著輸送空氣凈化程度的高低而定的。潔凈度高的選用不易產(chǎn)塵的材料，潔凈度低的選用產(chǎn)塵少的材料。
排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管與附件的制作材料是隨著輸送氣體的腐蝕性程度的強(qiáng)弱而定。
6．6．4 凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風(fēng)及排風(fēng)系統(tǒng)消聲措施的設(shè)置，應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)設(shè)置的實(shí)際情況，經(jīng)計(jì)算是否滿足室內(nèi)外噪聲標(biāo)準(zhǔn)，確定消聲措施的設(shè)置，故本條改為推薦性條文。
6．6．5 在各級空氣過濾器的前、后設(shè)測壓孔或安裝壓差計(jì)，便于運(yùn)行中隨時(shí)了解各級空氣過濾器的阻力變化情況，以便及時(shí)清洗或更換。
6．6．6 風(fēng)管及附件的不燃材料是指各種金屬板材，難燃材料是指氧指數(shù)大于或等于32的玻璃鋼。風(fēng)管保溫和消聲的不燃材料是指巖棉、玻璃棉等，難燃材料是指氧指數(shù)大于或等于32的聚氨酯（聚苯乙烯）泡沫塑料、橡塑海綿等。穿越防火墻及變形縫防火隔墻兩側(cè)各2000mm范圍內(nèi)的風(fēng)管和電加熱器前、后800mm范圍內(nèi)的風(fēng)管的保溫材料和墊片、粘結(jié)劑等，均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。本條規(guī)定了風(fēng)管及附件、輔助材料的耐火性能，所以規(guī)定為強(qiáng)制性條文。
