4．1．1 潔凈廠房與其他工業(yè)廠房的區(qū)別在于潔凈廠房?jī)?nèi)的生產(chǎn)工藝有空氣潔凈度要求。因此，設(shè)有潔凈廠房的工廠廠址宜選在大氣含塵濃度較低的地區(qū)，如農(nóng)村、城市遠(yuǎn)郊、水域之濱等，不宜選擇在氣候干旱、多風(fēng)沙地區(qū)或有嚴(yán)重空氣污染的城市工業(yè)區(qū)。
根據(jù)國(guó)內(nèi)外測(cè)試資料，農(nóng)村空氣污染程度較低，其含塵濃度一般只相當(dāng)于城市含塵濃度的幾分之一，甚至低一個(gè)數(shù)量級(jí)。而城市工業(yè)區(qū)的含塵濃度又遠(yuǎn)高于城市市區(qū)及市郊。不同地區(qū)含塵濃度也不同，如表1～表3所示。不同季節(jié)的含塵濃度也不相同，表4所列是天津市某地段不同季節(jié)室外含塵濃度的實(shí)測(cè)值。
表1 大氣中含塵濃度
|
場(chǎng)所
|
計(jì)重濃度(mg/m3)
|
≥0.5μm計(jì)數(shù)濃度(pc/m3)
|
|
市中心
|
0.10～0.35
|
5.3×107～2.5×108
|
|
市郊
|
0.05～0.30
|
3.5×107～1.1×108
|
|
田野
|
0.01～0.10
|
1.1×107～3.5×107
|
|
大洋
|
|
1.1×105～2.5×106
|
表2 天津地區(qū)的大氣含塵計(jì)重濃度
|
場(chǎng)所
|
大氣計(jì)重濃度(mg/m3)
|
|
測(cè)值范圍
|
平均值
|
|
校園、住宅區(qū)
|
0.18～0.32
|
0.206
|
|
商業(yè)街區(qū)
|
0.23～0.41
|
0.291
|
|
工業(yè)區(qū)
|
0.27～0.59
|
0.437
|
從表1、表2中可以看出，各地區(qū)、場(chǎng)所大氣環(huán)境質(zhì)量差別較大，若在環(huán)境質(zhì)量較差的地區(qū)建廠，設(shè)計(jì)中應(yīng)采取有效的技術(shù)措施以確保潔凈廠房的技術(shù)要求。
表3 大氣含塵濃度平均值（大于或等于0.5μm）(pc/L)
|
地區(qū)
|
年平均
|
月平均最大值
|
月平均最小值
|
|
北京（市區(qū)）
|
190 956
|
293 481
|
9274
|
|
北京（昌平農(nóng)村）
|
35 643
|
156 620
|
4591
|
|
上海（市區(qū)）
|
128 052
|
365 103
|
34 327
|
|
西安（市區(qū)）
|
131 644
|
317 561
|
29 738
|
表4 不同季節(jié)室外大氣含塵濃度的實(shí)測(cè)值
|
季節(jié)
|
時(shí)間
|
環(huán)境溫濕度
|
含塵濃度(pc/m3)
|
|
溫度(℃)
|
濕度(％)
|
≥0.5μm
|
≥5.0μm
|
|
夏（陰、雨后）
|
9：00
|
26.1
|
89
|
8.20×107
|
3.23×105
|
|
10：00
|
27.0
|
86
|
8.35×107
|
3.58×105
|
|
11：00
|
27.4
|
82
|
8.35×107
|
4.20×105
|
|
12：00
|
28.8
|
79
|
7.25×107
|
2.95×105
|
|
13：00
|
29.8
|
73
|
7.21×107
|
2.81×105
|
|
14：00
|
29.6
|
73
|
7.42×107
|
3.36×105
|
|
15：00
|
30.6
|
70
|
7.60×107
|
4.82×105
|
|
16：00
|
30.2
|
70
|
6.81×107
|
4.81×105
|
|
17：00
|
30.2
|
76
|
8.30×107
|
5.50×105
|
|
秋（晴、無(wú)風(fēng)）
|
8：00
|
14.0
|
64
|
1.21×108
|
2.21×106
|
|
9：00
|
16.2
|
54
|
1.32×108
|
2.03×106
|
|
10：00
|
19.0
|
42
|
1.31×108
|
1.80×106
|
|
11：00
|
21.1
|
39
|
1.23×108
|
2.01×106
|
|
12：00
|
22.4
|
34
|
1.43×108
|
1.83×106
|
|
13：00
|
23.0
|
29
|
7.94×107
|
8.70×105
|
|
14：00
|
24.2
|
37
|
1.03×108
|
1.04×105
|
|
15：00
|
23.5
|
39
|
1.12×108
|
2.01×105
|
|
冬（晴）
|
8：00
|
－6.1
|
51
|
5.4×107
|
3.9×105
|
|
9：00
|
－4.5
|
44
|
6.6×107
|
4.0×105
|
|
10：00
|
－2.8
|
40
|
7.5×107
|
7.7×105
|
|
11：00
|
－0.8
|
28
|
5.9×107
|
4.1×105
|
|
12：00
|
1.2
|
24
|
3.7×107
|
4.1×105
|
|
13：00
|
2.3
|
16
|
2.4×107
|
4.3×105
|
|
14：00
|
3.6
|
14
|
2.9×107
|
4.6×105
|
|
15：00
|
3.6
|
14
|
2.7×107
|
5.1×105
|
|
16：00
|
3.5
|
22
|
3.2×107
|
9.3×105
|
|
17：00
|
3.0
|
25
|
5.3×107
|
12.4×105
|
4．1．2 潔凈廠房?jī)?nèi)當(dāng)布置有精密設(shè)備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時(shí)，為解決防微振問(wèn)題，在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場(chǎng)地選擇過(guò)程中，需要對(duì)周圍振源的振動(dòng)影響作出評(píng)價(jià)，以確定該廠址或場(chǎng)地是否適宜建設(shè)。
周圍振源對(duì)精密設(shè)備、精密儀器儀表的振動(dòng)影響，是若干單個(gè)振源振動(dòng)的疊加結(jié)果。這種疊加，目前還沒(méi)有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實(shí)用的計(jì)算方法。因此，應(yīng)立足于實(shí)測(cè)。過(guò)去有的工廠，由于建廠前沒(méi)有對(duì)周圍各類振源的振動(dòng)影響進(jìn)行實(shí)測(cè)，建成后發(fā)現(xiàn)對(duì)精密設(shè)備、精密儀器儀表影響很大，有的甚至難以工作，給生產(chǎn)、試驗(yàn)帶來(lái)很大困難，這說(shuō)明實(shí)測(cè)振源振動(dòng)影響是非常必要的。
4．1．3 本條規(guī)定仍以規(guī)范編制組的科研成果報(bào)告《環(huán)境塵源影響范圍研究》為依據(jù)。根據(jù)上述報(bào)告，道路灰塵“嚴(yán)重污染區(qū)”位于道路下風(fēng)側(cè)50m范圍之內(nèi)，100m以外為“輕污染區(qū)”。潔凈廠房最好離開(kāi)車輛頻繁的干道100m以外，但考慮到廠區(qū)總平面布置的可能性以及廠區(qū)圍墻或廠內(nèi)路沿綠化的阻塵作用等因素，本條規(guī)定潔凈廠房與車輛頻繁的干道之間的距離宜大于50m。
在《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073-2001（以下簡(jiǎn)稱原規(guī)范）實(shí)施中，各地區(qū)、各設(shè)計(jì)單位認(rèn)為本條規(guī)定距離的界定不明確，且考慮到道路的污染物對(duì)潔凈廠房的影響主要是影響凈化空調(diào)系統(tǒng)新鮮空氣的質(zhì)量，而潔凈室（區(qū)）圍護(hù)結(jié)構(gòu)氣密性較好的特點(diǎn)，本次修改為“新風(fēng)口與交通干道邊沿的最近距離宜大于50m”。
4．1．6 綠化有良好的吸塵、阻塵作用。潔凈廠房周圍場(chǎng)地綠化應(yīng)以種植草坪為主，小灌木為輔，不宜種植觀賞花卉及高大喬木。因?yàn)橛^賞花多為季節(jié)性一年生植物，需經(jīng)常翻土、播種、移植，從而破壞植被，反而使塵土飛揚(yáng)；而高大喬木樹(shù)冠覆蓋面積大，其下部難以形成植被，也易產(chǎn)生揚(yáng)塵。
潔凈廠房外圍宜種植枝葉茂盛的常綠樹(shù)種。潔凈廠房周圍綠化樹(shù)種應(yīng)選用不產(chǎn)生花絮、絨毛、粉塵等對(duì)大氣有不良影響的樹(shù)種。
4．2 工藝平面布置和設(shè)計(jì)綜合協(xié)調(diào)
4．2．2 因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠房?jī)?nèi)常有多種氣體、液體供應(yīng)管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)管和局部排風(fēng)管等，管線交叉復(fù)雜。因此，在進(jìn)行管線綜合布置時(shí)，必須在平面和標(biāo)高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調(diào)試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。
對(duì)國(guó)內(nèi)已建成的潔凈廠房調(diào)研中，了解到為布置各種管道和高效過(guò)濾器等一般均設(shè)置了技術(shù)夾層或技術(shù)夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術(shù)夾層設(shè)計(jì)得過(guò)高是不經(jīng)濟(jì)的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯(cuò)的。因此，在進(jìn)行管線綜合布置設(shè)計(jì)和確定技術(shù)夾層層高時(shí)，應(yīng)進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，做到技術(shù)上可靠，經(jīng)濟(jì)上合理。
通過(guò)原規(guī)范實(shí)施以來(lái)反饋的信息，雖然本條具有確保潔凈廠房安全可靠的作用，但主要還是影響產(chǎn)品質(zhì)量的提高、成品率高低和經(jīng)濟(jì)性問(wèn)題，因此本次修訂修改為推薦性條文。
4．2．3 隨著各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)的發(fā)展，生產(chǎn)自動(dòng)化程度的提高和改進(jìn)，近年來(lái)潔凈廠房建設(shè)中大都采用大開(kāi)間，以滿足生產(chǎn)工藝要求。
潔凈廠房?jī)?nèi)除考慮生產(chǎn)安全性需增設(shè)隔斷外，一般不設(shè)隔斷。由于本條第2款、第3款的內(nèi)容只是為了有利于運(yùn)行管理作出的規(guī)定，故本次修訂修改為推薦性條文。
4．3 人員凈化和物料凈化
4．3．1、4．3．2 人員與物料進(jìn)入潔凈室會(huì)把外部污染物帶入室內(nèi)，特別是人員本身就是一個(gè)重要的污染源，不同衣著、不同動(dòng)作時(shí)的人體產(chǎn)塵量見(jiàn)表5。從表5中數(shù)據(jù)可見(jiàn)，身著普通服裝的人走動(dòng)時(shí)的產(chǎn)塵(大于或等于0.5μm)量可達(dá)近300×104pc/（min·人）。根據(jù)國(guó)外有關(guān)資料報(bào)道，潔凈室中的灰塵來(lái)源分析見(jiàn)表6，來(lái)源于人員因素的占35％。對(duì)潔凈室空氣抽樣分析也發(fā)現(xiàn)，主要的污染物有人的皮膚微屑、衣服織物的纖維與室外大氣中同樣性質(zhì)的微粒。由此可見(jiàn)，要獲得生產(chǎn)環(huán)境所需要的空氣潔凈度，人員與物料的凈化是十分必要的。
存放雨具、換鞋、存外衣、更換潔凈工作服用室是人員凈化用室的基本組成部分，也是人員凈化用室的必要部分。生活用室應(yīng)視車間所在地區(qū)的自然條件、車間規(guī)模及工藝特征等具體情況，根據(jù)實(shí)際需要設(shè)置。如車間規(guī)模較大、人員集中或工藝為暗室操作的潔凈室應(yīng)設(shè)必要的休息室。
鑒于第4．3．1條、第4．3．2條僅為原則性通用規(guī)定，本次修訂修改為推薦性條文。
表5 不同衣著、不同動(dòng)作時(shí)的人體產(chǎn)塵
|
產(chǎn)塵
衣著
狀態(tài)
|
≥0.5μm顆粒數(shù)[pc/（min·人）]
|
|
一般工作服
|
白色無(wú)菌工作服
|
全包式潔凈工作服
|
|
靜站
|
339×103
|
113×103
|
5.6×103
|
|
靜坐
|
302×103
|
112×103
|
7.45×103
|
|
腕上下運(yùn)動(dòng)
|
2980×103
|
300×103
|
18.7×103
|
|
上身前屈
|
2240×103
|
540×103
|
24.2×103
|
|
腕自由運(yùn)動(dòng)
|
2240×103
|
289×103
|
20.5×103
|
|
脫帽
|
1310×103
|
－
|
－
|
|
頭上下左右運(yùn)動(dòng)
|
631×103
|
151×103
|
11.2×103
|
|
上身扭動(dòng)
|
850×103
|
267×103
|
14.9×103
|
|
屈身
|
3120×103
|
605×103
|
37.3×103
|
|
踏步
|
2300×103
|
860×103
|
44.8×103
|
|
步行
|
2920×103
|
1010×103
|
56×103
|
表6 潔凈室內(nèi)粒子來(lái)源分析
|
發(fā)生源
|
百分比(％)
|
發(fā)生源
|
百分比(％)
|
|
從空氣中漏入
|
7
|
從生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生
|
25
|
|
從原料中帶入
|
8
|
由人員因素造成
|
35
|
|
從設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)中產(chǎn)生
|
25
|
|
|
4．3．3 本條對(duì)人員凈化用室和生活用室的設(shè)計(jì)作出規(guī)定。
1 凈鞋的目的在于保護(hù)人員凈化用室入口處不致受到嚴(yán)重污染。國(guó)內(nèi)多數(shù)潔凈廠房人員入口處設(shè)有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。
為了保護(hù)人員凈化用室的清潔，最徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去，換上清潔鞋或鞋套。現(xiàn)有潔凈廠房工作人員都執(zhí)行更衣前換鞋的制度，其中不少潔凈廠房對(duì)換鞋方式作了周密考慮，換鞋設(shè)施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區(qū)分，避免了清潔鞋被外出鞋污染，如跨越鞋柜式換鞋，清潔平臺(tái)上換鞋等都有很好的效果。
2、3 外出服在家庭生活及戶外活動(dòng)中積有大量微塵和不潔物，服裝本身也會(huì)散發(fā)纖維屑，更衣室將外出服及隨身攜帶的其他 物品存放于專用的存外衣柜內(nèi)。考慮到國(guó)內(nèi)潔凈廠房當(dāng)前的管理方式和習(xí)慣，外出服一般由個(gè)人閉鎖使用，按在冊(cè)人數(shù)每人一柜計(jì)算是必要的；潔凈工作服柜一般也可按每人一柜設(shè)計(jì)，但也有集中將潔凈工作服存放于潔凈柜中的，置于潔凈柜中更為理想。為避免外出服污染潔凈工作服，為此本條明確規(guī)定存外衣、更換潔凈工作服的房間應(yīng)分別設(shè)置。
4 手是交叉污染的媒介，人員在接觸工作服之前洗手十分必要。操作中直接用手接觸潔凈零件、材料的人員可以戴潔凈手套或在潔凈室內(nèi)洗手。
洗凈的手不可用普通毛巾擦抹，因?yàn)槠胀硪桩a(chǎn)生纖維塵，最好的辦法是熱風(fēng)吹干，電熱自動(dòng)烘手器就是一種較好的選擇。
由于人員凈化的凈鞋措施、存外衣和更換潔凈工作服房間的分隔以及洗手設(shè)施的設(shè)置，均為了減少甚至消除潔凈室工作人員帶入的污染物對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響，所以本次修訂將本條第1款、第2款、第4款改為推薦性條文。
5 工業(yè)潔凈室設(shè)置空氣吹淋室的理由是：
1) 在一定風(fēng)速、一定吹淋時(shí)間的條件下，空氣吹淋室對(duì)清除人員身上的灰塵有明顯效果。
本規(guī)范編制組進(jìn)行了“吹淋室效果的測(cè)定”的科研項(xiàng)目，對(duì)于經(jīng)吹淋與不經(jīng)吹淋兩種情況的人員散塵量作了大量的測(cè)試對(duì)比。結(jié)果表明，吹淋室的吹淋效果，對(duì)大于或等于0.5μm的塵粒約為10％～30％，對(duì)大于或等于5μm的塵粒約為15％～35％。
2) 吹淋室具有氣閘的作用，能防止外部空氣進(jìn)入潔凈室，并使?jié)崈羰揖S持正壓狀態(tài)。
3) 吹淋室除了有一定凈化效果外，它作為人員進(jìn)入潔凈區(qū)的一個(gè)分界，還具有警示性的心理作用，有利于規(guī)范潔凈室人員在潔凈室內(nèi)的活動(dòng)。
4) 國(guó)內(nèi)潔凈廠房的現(xiàn)狀是：在統(tǒng)計(jì)的38個(gè)潔凈廠房中，約80％設(shè)有空氣吹淋室。
關(guān)于吹淋室的使用人數(shù)，主要取決于每人吹淋所需時(shí)間和上班前人員凈化的總時(shí)間。參考計(jì)算方法：假定潔凈室自凈時(shí)間為30min，換鞋、更衣占去10min，上班人員總吹淋時(shí)間為20min。設(shè)每人吹淋30s，另加準(zhǔn)備時(shí)間10s，則一臺(tái)單人吹淋室可供30人使用。
當(dāng)最大班使用人數(shù)超過(guò)30人時(shí)，可將兩臺(tái)或多臺(tái)單人吹淋室并聯(lián)布置。
垂直單向流潔凈室由于自凈能力強(qiáng)，無(wú)紊流影響，人員產(chǎn)塵能迅速被回風(fēng)帶走而不致污染產(chǎn)品，鑒于這種有利條件，也可不設(shè)吹淋室而改設(shè)氣閘室。
吹淋室旁設(shè)通道，可使下班人員和衛(wèi)生清掃或檢修人員的進(jìn)出不必通過(guò)吹淋室，起到保護(hù)吹淋設(shè)備的作用，同時(shí)也方便檢修期間設(shè)備、工具等進(jìn)出。
潔凈室（區(qū)）是否設(shè)置空氣吹淋室，各潔凈廠房做法不一，但在原規(guī)范中規(guī)定：“空氣吹淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處，并與潔凈工作服更衣室相鄰?！币?yàn)楸究钭鳛閺?qiáng)制性條款，在實(shí)施過(guò)程中，一些單位以為“所有潔凈室均應(yīng)設(shè)置空氣吹淋室”。實(shí)際上本款規(guī)定并不是要求所有潔凈室均應(yīng)設(shè)置空氣吹淋室，只是要求當(dāng)需設(shè)置空氣吹淋室時(shí)，應(yīng)如何設(shè)置。為此，本次修訂將本款改為推薦性條款。
7 潔凈區(qū)內(nèi)設(shè)置廁所不僅容易使?jié)崈羰沂艿轿廴荆€會(huì)影響潔凈區(qū)的壓力控制。原規(guī)范規(guī)定潔凈區(qū)內(nèi)不宜設(shè)廁所，為了強(qiáng)調(diào)潔凈區(qū)內(nèi)不得設(shè)廁所的要求，本次修訂將“不宜”改為“不得”，但該款條文仍為推薦性。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)在盥洗室之前，廁所設(shè)前室作為緩沖，前室還應(yīng)放置供人員入廁穿用的套鞋。
4．3．4 人員凈化應(yīng)當(dāng)循序漸進(jìn)，有一個(gè)合理的程序，在凈化過(guò)程中，避免已清潔部分被臟的部分所污染。根據(jù)目前國(guó)內(nèi)潔凈廠房常用的人員凈化程序，本規(guī)范提出了一次更衣（盥洗前存外衣）、一次吹淋的人員凈化程序。由于本條第1款只是對(duì)潔凈廠房中人流路線的原則性規(guī)定，本次修訂改為推薦性條文。
4．3．5、4．3．6 關(guān)于人員凈化用室建筑面積控制指標(biāo)，主要參考了有關(guān)資料提出的面積指標(biāo)和部分潔凈廠房實(shí)際采用的指標(biāo)，并進(jìn)行統(tǒng)計(jì)后得出的。人員較多時(shí)，面積指標(biāo)采用下限；人員較少時(shí)，面積指標(biāo)采用上限。
近年來(lái)，國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)、建造的潔凈廠房，一般是根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求或潔凈廠房的布局情況按相鄰潔凈室（區(qū)）的潔凈度等級(jí)確定潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí)，還有一些潔凈廠房雖然沒(méi)有對(duì)潔凈工作服更衣室、潔凈工作服洗滌室提出空氣潔凈度等級(jí)要求，但室內(nèi)采用高效空氣過(guò)濾送風(fēng)系統(tǒng)，或?qū)崈羰覂?nèi)的凈化空氣部分地引入更衣室、潔凈工作服洗滌室。為此，本次修訂時(shí)對(duì)潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí)宜低于相鄰潔凈區(qū)1級(jí)～2級(jí)和“潔凈服洗滌室的空氣潔凈度等級(jí)不宜低于8級(jí)”的規(guī)定取消，修改為將更衣室與潔凈工作服洗滌室對(duì)空氣凈化要求的相關(guān)內(nèi)容的規(guī)定合并在一條內(nèi)：“宜根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和相鄰潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級(jí)確定”。不再規(guī)定具體的“等級(jí)”或“等級(jí)范圍”。
4．3．7 鑒于本條有關(guān)物料凈化的規(guī)定主要涉及影響空氣潔凈度或產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的可能被污染，且在原規(guī)范實(shí)施過(guò)程中一些行業(yè)的潔凈廠房設(shè)計(jì)、建造中執(zhí)行本條規(guī)定難度較大，為此本次修訂改為推薦性條文。
4．4 噪聲控制
4．4．1 潔凈室的噪聲一般不算高，但數(shù)據(jù)差額較大，相差近10dB(A)。國(guó)內(nèi)關(guān)于噪聲對(duì)健康影響的研究表明，低于80dB(A)的一般工業(yè)噪聲，對(duì)健康的影響不太大。因此，潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應(yīng)、語(yǔ)言通訊干擾和對(duì)工作效率的影響。
國(guó)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)的研究工作開(kāi)始于20世紀(jì)60年代。1966年制定的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室環(huán)境控制要求》209a和1974年修訂的209b規(guī)定：“潔凈室的噪聲控制在可能進(jìn)行必要的通話，滿足操作或產(chǎn)品的要求，并使人員保持在舒適和安全的范圍內(nèi)”。
在《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境——第四部分，設(shè)計(jì)、施工和啟動(dòng)》IS0 14644-4-2001標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定：“應(yīng)依據(jù)潔凈室內(nèi)人的舒適和安全要求及環(huán)境（如其他設(shè)備）的背景聲壓級(jí)來(lái)選擇適宜的聲壓級(jí)。潔凈室的聲壓級(jí)范圍為40～65dB(A)”。
從收集的國(guó)內(nèi)外潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)來(lái)看，有以下幾個(gè)特點(diǎn)：潔凈室的噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運(yùn)行，滿足必要的談話聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)給出的允許值在65dB(A)～70dB(A)范圍，醫(yī)療行業(yè)則更低?，F(xiàn)行的大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)均以A聲壓級(jí)作為評(píng)價(jià)指標(biāo)，也有少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)各頻帶聲壓級(jí)提出了限制。少數(shù)標(biāo)準(zhǔn)按不同的空氣潔凈度等級(jí)分別給出了噪聲容許值，而大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)不同的空氣潔凈度等級(jí)潔凈室提出了一個(gè)統(tǒng)一的容許值。
根據(jù)“潔凈廠房噪聲評(píng)價(jià)與標(biāo)準(zhǔn)的研究”所得到的成果，我國(guó)59個(gè)潔凈廠房平均噪聲級(jí)的分布，電子工業(yè)216個(gè)潔凈室的噪聲分布狀況和不同聲級(jí)下各種效應(yīng)的主觀評(píng)價(jià)指標(biāo)如圖1所示：
由圖1可見(jiàn)，若以65dB(A)作為潔凈室噪聲允許值標(biāo)準(zhǔn)，工人感到高煩惱的百分率低于30％，對(duì)集中精神感到有較高影響的百分率不到10％，而對(duì)工作速度、動(dòng)作準(zhǔn)確性的影響則可忽略，從主觀評(píng)價(jià)調(diào)查看，語(yǔ)言通訊干擾可以屬于輕微的等級(jí)。如按這一限值來(lái)衡量現(xiàn)有潔凈室的噪聲，則有75％超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)，就電子工業(yè)而言，也有47％的潔凈室超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)。
近年來(lái)，我國(guó)的潔凈室環(huán)境技術(shù)有了一定的發(fā)展，但對(duì)噪聲的控制技術(shù)還相對(duì)滯后，從1996-1997年對(duì)國(guó)內(nèi)部分行業(yè)的部分潔凈室進(jìn)行的調(diào)研結(jié)果來(lái)看，還有相當(dāng)一部分的潔凈室噪聲在65dB(A)以上，就電子工業(yè)而言，還有約35％的潔凈室超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)。
圖1 潔凈廠房噪聲分布與評(píng)價(jià)圖
1－59個(gè)潔凈廠房超過(guò)某一聲級(jí)的百分率；
2－電子工業(yè)216個(gè)潔凈室超過(guò)某一聲級(jí)的百分率；
3－高煩惱率,4－準(zhǔn)確性高影響率；5－工作速度高影響率；
6－集中精神高影響率；7－交談及電話通訊高干擾率
同樣由圖1得知，若以70dB(A)為噪聲允許值標(biāo)準(zhǔn)，工人感到高煩惱的百分率將達(dá)到39％，對(duì)于集中精神感到有較高影響的百分率為12.4％，對(duì)工作速度和動(dòng)作準(zhǔn)確性影響仍不顯著，對(duì)語(yǔ)言通訊的干擾則屬于較高的等級(jí)。如按70dB(A)的限值來(lái)衡量現(xiàn)有潔凈廠房的噪聲，則多數(shù)可以滿足標(biāo)準(zhǔn)。
目前國(guó)內(nèi)的相當(dāng)一部分潔凈室的隔墻使用的是進(jìn)口或國(guó)產(chǎn)的金屬壁板，由于壁板的隔聲量存在著某些薄弱環(huán)節(jié)而造成隔聲不理想，且室內(nèi)的噪聲仍過(guò)高。如上海某公司使用的是進(jìn)口壁板，其室內(nèi)噪聲平均值達(dá)69dB(A)；上海某公司使用的也是進(jìn)口壁板光刻間，測(cè)得其室內(nèi)平均噪聲值為70dB(A)，其他一些潔凈室的生產(chǎn)環(huán)境的噪聲也偏高，也就是說(shuō)，從噪聲的效應(yīng)來(lái)看，標(biāo)準(zhǔn)低于65dB(A)為好。
對(duì)國(guó)內(nèi)幾個(gè)行業(yè)不同氣流流型潔凈室的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)噪聲所進(jìn)行的分析表明，不同氣流流型的靜態(tài)噪聲有較大差異。非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測(cè)值在41dB(A)～64dB(A)范圍內(nèi)，平均為54dB(A)；單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測(cè)值在51dB(A)～75dB(A)范圍內(nèi)，平均為65dB(A)。非單向流潔凈室比單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11dB(A)。
由于噪聲控制要求是確保人員健康的重要條件，本條為強(qiáng)制性條文。
4．4．3～4．4．6 控制設(shè)備噪聲首先要從聲源上考慮，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)上的原因而難以做到時(shí)，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，如把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切，必須置于潔凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。
國(guó)內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房中，不少潔凈室將機(jī)械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內(nèi)，潔凈室內(nèi)噪聲有明顯降低。
潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來(lái)源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部?jī)艋O(shè)備運(yùn)行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施，不合理的設(shè)計(jì)方案必然導(dǎo)致較高的靜態(tài)噪聲。
關(guān)于降低潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲的措施，國(guó)內(nèi)外有關(guān)資料提出了一些有效的措施：
如《現(xiàn)代潔凈室概念》一文中強(qiáng)調(diào)“選擇那種能滿足氣流要求的噪聲最低的風(fēng)機(jī)，還應(yīng)該采用彈性減振基礎(chǔ)”。關(guān)于消聲器的使用，文中說(shuō)：“管道消聲器在中頻和高頻范圍內(nèi)降低噪聲是有效的，當(dāng)風(fēng)管敷設(shè)長(zhǎng)度在50ft以內(nèi)時(shí)，就應(yīng)考慮采用消聲器”。關(guān)于風(fēng)管的連接，文中又說(shuō)：“通風(fēng)機(jī)和送風(fēng)管道與回風(fēng)管道之間，應(yīng)采用柔性連接管隔開(kāi)”。還要求“將通風(fēng)機(jī)外殼、靜壓箱和管道等加上襯里”。如北京某大學(xué)微電子研究所回風(fēng)管道在未處理前噪聲高達(dá)83.5dB(A)，經(jīng)過(guò)加設(shè)襯墊處理后噪聲降到66.2dB(A)，使光刻間的室內(nèi)環(huán)境噪聲平均下降了7dB(A)～9dB(A)。由此可見(jiàn)，只要對(duì)風(fēng)道系統(tǒng)采取消聲和防止管道固體傳聲等措施，潔凈室噪聲可以大幅度降低。
國(guó)內(nèi)還有不少潔凈室，由于系統(tǒng)設(shè)計(jì)合理，并采取了降噪措施，室內(nèi)噪聲得到有效控制。
排風(fēng)系統(tǒng)噪聲對(duì)潔凈室影響極大，以集成電路生產(chǎn)為例，在生產(chǎn)過(guò)程中，外延、擴(kuò)散、腐蝕、清洗等多種工序都需設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)。近年來(lái)，潔凈廠房排風(fēng)系統(tǒng)的噪聲治理日益受到重視，要注意選用低噪聲風(fēng)機(jī)等。
由于潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境要求比較安靜，潔凈室的密封性能較好，噪聲不易衰減。按規(guī)定限制風(fēng)管風(fēng)速，既減小了凈化空調(diào)系統(tǒng)的阻力，降低了風(fēng)機(jī)壓頭和轉(zhuǎn)速，減弱了風(fēng)機(jī)的噪聲，又防止了風(fēng)速過(guò)大而產(chǎn)生附加噪聲。
如上所述，第4．4．3條～第4．4．6條的規(guī)定均為潔凈廠房設(shè)計(jì)中，從平面和空間設(shè)計(jì)到各類設(shè)備、系統(tǒng)及其附屬設(shè)備等的選擇都應(yīng)充分考慮噪聲控制措施，以確保達(dá)到潔凈廠房要求的噪聲控制值。原規(guī)范中將第4．4．3條、第4．4．4條規(guī)定為強(qiáng)制性條文，但在實(shí)施中各單位認(rèn)為規(guī)定過(guò)嚴(yán)，可操作性也不強(qiáng)，為此本次修訂改為推薦性條文。
4．5 微振控制
4．5．1 有微振控制要求的潔凈廠房，設(shè)計(jì)應(yīng)考慮建筑結(jié)構(gòu)的選型及地面（樓面）的構(gòu)造做法，如增加基礎(chǔ)及上部結(jié)構(gòu)垂直及橫向剛度，增加地面（樓面）剛度，能有效減小振動(dòng)影響。此外，還應(yīng)考慮隔振縫設(shè)置及其有效的構(gòu)造措施，壁板與地面及頂棚采用柔性連接等，均能減小振動(dòng)傳遞。即減小了對(duì)精密設(shè)備、儀器儀表的振動(dòng)影響。
在潔凈廠房設(shè)計(jì)中，應(yīng)首先考慮對(duì)強(qiáng)振源采取隔振措施，以減小強(qiáng)振源對(duì)精密設(shè)備、儀器儀表的振動(dòng)影響，在此基礎(chǔ)上，精密設(shè)備、儀器儀表再根據(jù)各自的容許振動(dòng)值采取被動(dòng)隔振措施，就大致能夠達(dá)到預(yù)定目的。
在原規(guī)范中，本條為強(qiáng)制性條文，雖然明確規(guī)定本條只用于有微振控制要求的潔凈廠房，但由于沒(méi)有量化的規(guī)定，容易引起執(zhí)行不準(zhǔn)確的問(wèn)題，實(shí)施以來(lái)確有此種情況發(fā)生，為此本次修訂將本條改為推薦性條文。
4．5．4 精密設(shè)備、儀器儀表的被動(dòng)隔振措施，由隔振臺(tái)座及隔振器（或隔振裝置）組成。根據(jù)隔振設(shè)計(jì)計(jì)算需要，設(shè)定隔振臺(tái)座為不變形剛體，為此應(yīng)對(duì)隔振臺(tái)座的形狀、幾何尺寸及材質(zhì)選用等方面加以考慮，使之具有足夠的剛度。
某些精密設(shè)備、儀器儀表在運(yùn)行時(shí)，由于移動(dòng)部件位置變化或加工、測(cè)試件的質(zhì)量及質(zhì)心位置變化，使各隔振器的變形量不相等，隔振臺(tái)座發(fā)生傾斜，導(dǎo)致精密設(shè)備、儀器儀表難以正常工作。為此，應(yīng)設(shè)置校正傾斜裝置，使隔振臺(tái)座保持原有的水平度，以保證精密設(shè)備、儀器儀表的正常運(yùn)行。
隔振系統(tǒng)阻尼過(guò)小，會(huì)產(chǎn)生較大的自振，以及受外界突發(fā)干擾（如對(duì)隔振臺(tái)座的沖擊、室內(nèi)氣流的擾動(dòng)影響等），造成隔振臺(tái)座晃動(dòng)，這種振動(dòng)值有時(shí)會(huì)大于精密設(shè)備、儀器儀表的容許振動(dòng)值，影響其正常運(yùn)行。為此應(yīng)增大隔振系統(tǒng)阻尼值，才能減小此類振動(dòng)。通過(guò)多項(xiàng)工程實(shí)踐表明，隔振系統(tǒng)阻尼比不小于0.15是比較恰當(dāng)?shù)摹?br style="box-sizing:border-box;" />
4．5．5 空氣彈簧的垂直向、橫向剛度很低，使隔振系統(tǒng)具有很低的固有振動(dòng)頻率，同時(shí)它具有可調(diào)節(jié)阻尼值的特性，隔振系統(tǒng)可獲得需要的阻尼，因此，隔振系統(tǒng)具有良好的隔振效果。當(dāng)配用高精度控制閥時(shí)，可自動(dòng)校正隔振臺(tái)座的傾斜。由于空氣彈簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的優(yōu)越性，已被我國(guó)及國(guó)際工程界普遍采用作為精密設(shè)備、儀器儀表的隔振元件。
用于被動(dòng)隔振措施的空氣彈簧隔振裝置由空氣彈簧隔振器、高精度控制閥、儀表箱及氣源組成。由于空氣彈簧隔振裝置在校正隔振臺(tái)座傾斜時(shí)會(huì)排出氣體（如壓縮空氣、氮?dú)獾龋?，因此?duì)氣源應(yīng)進(jìn)行凈化處理，使其達(dá)到潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)，才能保證排出的氣體不致對(duì)潔凈室造成污染。
