2．0．1 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 cleanrooms and associated controlled environment
潔凈室及其附屬的、輔助的、相聯(lián)系的開(kāi)放或封閉的內(nèi)部或周邊空間，該空間的懸浮微粒濃度等參數(shù)也受到符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的控制。
2．0．2 單向流潔凈室 unidirectional airflow cleanroom
由方向單一、流線平行并且速度均勻穩(wěn)定的單向流流過(guò)房間工作區(qū)整個(gè)截面的潔凈室。
2．0．3 非單向流潔凈室 non-unidirectional airflow cleanroom
是指流線不平行、方向不單一、速度不均勻而且有交叉回旋的紊亂氣流流過(guò)房間工作區(qū)整個(gè)截面的潔凈室。亦稱(chēng)亂流潔凈室。
2．0．4 混合流潔凈室 mixed airflow cleanroom
同時(shí)分別存在單向流和非單向流兩種氣流流型的潔凈室。
2．0．5 微粒 particle
懸浮在空氣中的、固態(tài)的或液態(tài)的、活性的或非活性的物質(zhì)，其粒徑(對(duì)本標(biāo)準(zhǔn)而言)在10nm～100μm的范圍。
2．0．6 氣溶膠 aerosol
在空氣中懸浮的微小固體或液體微粒的分散系。
2．0．7 生物氣溶膠 bio-aerosol
散布于氣態(tài)環(huán)境中的生物介質(zhì)。
2．0．8 浮游菌 airborne bacteria
懸浮在空氣中的帶菌微粒。
2．0．9 沉降菌 scttlemental bacteria
降落在表面上的帶菌微粒。
2．0．10 測(cè)試用氣溶膠 test aerosol
呈氣態(tài)懸浮的固體或液體的微粒，其粒徑分布和濃度已知且受控。
2．0．11 泄漏 leak
空氣過(guò)濾器系統(tǒng)因完整性不佳或有缺陷所引起的污染物透過(guò)，透過(guò)的污染物超過(guò)下風(fēng)向濃度預(yù)計(jì)值。
2．0．12 檢漏 leak test
找到過(guò)濾器和機(jī)組部件泄漏的方法，即使用氣溶膠光度計(jì)或光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器以相互重疊的掃描區(qū)域掃描通過(guò)測(cè)試區(qū)。
2．0．13 過(guò)濾器安裝后泄漏測(cè)試 installed filter leakage test
為確認(rèn)過(guò)濾器安裝良好所進(jìn)行的測(cè)試。測(cè)試時(shí)要驗(yàn)證設(shè)施沒(méi)有旁路滲漏，過(guò)濾器及過(guò)濾器和安裝框架間的密封面沒(méi)有缺陷和泄漏。
2．0．14 靜態(tài) at-rest
全部建成且設(shè)施齊備，凈化空調(diào)系統(tǒng)運(yùn)行正常，現(xiàn)場(chǎng)沒(méi)有人員。此時(shí)生產(chǎn)設(shè)備已安裝完畢而未運(yùn)行的潔凈室狀態(tài)；或生產(chǎn)設(shè)備停止運(yùn)行并進(jìn)行自凈達(dá)到規(guī)定時(shí)間后的潔凈室狀態(tài)；或正在按建設(shè)方(用戶)和施工方商定的方式運(yùn)行的潔凈室狀態(tài)。是潔凈室的三種占用狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài))之一。
2．0．15 高純氣體 ultrapure gas
氣體成分純度大于或等于99．9995％，含水量小于5ppm的氣體。
2．0．16 純化水 purity water (去離子水或深度脫鹽水)
指溫度25℃時(shí)，電阻率大于0．1×106Ω·cm的水。
2．0．17 高純水(注射用水) ultrapure water
指溫度25℃時(shí)，電阻率大于0．1×106Ω·cm，水中大于或等于0．5μm的塵粒小于300粒／mL，活微生物小于9個(gè)／mL的純水。
2．0．18 大(宏)粒子 macroparticle
當(dāng)量直徑大于5μm的微粒。
2．0．19 超微粒子 ultrafine particle
當(dāng)量直徑小于0．1μm的微粒。
2．0．20 永久氣體 permanent gas
臨界溫度低于-10℃的氣體，如空氣、氧、氮、氦、甲烷、一氧化碳等。
2．0．21 特種氣體 special gas
為滿足特定用途的氣體，包括單一氣體或混合氣體。單一氣體有259種，其中電子氣體115種，有機(jī)氣體63種，無(wú)機(jī)氣體35種，鹵碳素氣體29種，同位素氣體17種。
2．0．22 醫(yī)用氣體 medical gas
符合醫(yī)療相關(guān)規(guī)定要求，供治療、診斷、預(yù)防等醫(yī)學(xué)方面使用的氣體。
2．0．23 潔凈氣體 clean gas
單位體積所含微粒的數(shù)量小于或等于使用此氣體的潔凈環(huán)境潔凈度的常用氣體。
2．0．24 分子態(tài)污染物 airborne molecular contamination，AMC
含在空氣中的具有分子量級(jí)的污染物，如酸性氣體、堿性氣體、凝聚性有機(jī)物質(zhì)、用于半導(dǎo)體的摻雜物、高揮發(fā)性有機(jī)物質(zhì)和分子級(jí)的金屬等。
